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大尺寸光罩

更新:2017-06-28浏览:

主要应用于LCD、TFT、CF、Touch Panel、OLED、PDP等平板显示行业;HDI、FPC等PCB行业。

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产品介绍

名称:大尺寸光罩 

材料:Soda Lime GlassQuartz 

规格:1100mm×1100mm~406.4mmx457.2mm 

应用:PCB行业、平板显示行业


详情介绍

主要应用领域:

主要应用于LCDTFTCFTouch PanelOLEDPDP等平板显示行业;HDIFPCPCB行业。

Applications

Mainly used in LCDTFTCFTouch PanelOLEDPDP and other flat panel display industryHDIFPC and other PCB industry.


铬版精度 Chrome Mask SpecificationsStandard Size:430mmx430mm


精度 / 级别

Items / Class

最高精度

Grade 1

高精度

Grade 2

中精度

Grade 3

一般精度

Grade 4

最小线宽/线缝

Min.Line/Space Width

1.0μm/1.0μm

5μm/5μm

10μm/10μm

20μm/20μm

线条精度

CD Control

±0.15μm (QZ)

±0.5μm

±1.0μm

±2.0μm

总长精度

Total Pitch Accuracy

±0.5μm(QZ)

±1.0μm

±2.0μm

±2.0μm

图形位置精度

Registration Accuracy

±0.5μm(QZ)

±1.0μm

±2.0μm

±3.0μm

套合精度

Overlay Accuracy

±0.5μm(QZ)

±1.0μm

±2.0μm

±3.0μm

垂直精度

Orthogonality

±0.75μrad

±2.0μrad

±3.0μrad

±4.0μrad

 

铬版材料 Substrate(Photomask blank phate) 

 材料 Material

Soda Lime GlassQuartz

 最大尺寸Max. Size

1100mm×1100mm

 常规尺寸Normal Size

406.4mmx457.2mm,420mmx520mm,450mmx550mm,580mmx609.6mm,

609.6mmx711.2mm,620mmx720mm,700mmx800mm,800mmx960mm

 厚度 Thickness

2.3±0.2mm,3.0±0.2mm ,4.8±0.2mm ,7.8±0.2mm

5.0±0.2mm (QZ),8.0±0.2mm (QZ)

 铬膜 Film Type

Low Reflectance Chrome

 光学密度Optical Density(λ=450nm)

Between Plates3.0±0.3 In Plate±0.3

 反射率Reflectivity(λ=436nm)

Between Plates10±5% In Plate±2%


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